亚λ/18缺陷可识别
利用方位角引导图像融合，让激光散射暗场成像系统在可见光波段实现对大面积晶圆上亚波长随机取向缺陷的高灵敏度识别，突破常规暗场检测的灵敏度极限。
Hu, Jiaqi · Yihong, Huang · Tao, Liu · Wenze, Wang · Li, Wei · 叶国永 · Cheung, C. F. · Boyu, Zhan · 杨树明
Optics Express 2026
通过方位角融合增强随机取向亚波长缺陷的信号，在优化配置的系统中实现了亚λ/18缺陷的有效识别。
基于矢量电磁理论构建了严格的缺陷成像物理模型，系统阐明了影响缺陷可检测性的机制，为融合策略提供理论依据。
该方法克服了可见光波段暗场成像的灵敏度限制，为先进节点的纳米级缺陷检测提供了高效解决方案。