自混合干涉位移测量

融合驱动电压降误差

将压电驱动电压与条纹计数法位移测量进行数据融合，兼顾成本、精度与通用性，为高精度定位提供一种低成本的监测手段。

Weilin, Ma · Tong, Xingye · 杜升平 · 程云涛

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

测量精度
120.7 nm
均方根误差
45 nm
RMSE降低百分比
30.1 %
最大误差降低百分比
45.5 %

技术优势

误差降三成

融合驱动电压信息后，均方根误差从单独SMI的64.4 nm降至45 nm，降低30.1%。

通用性更强

该方法无需相位解缠等复杂处理，条纹计数结合驱动电压融合即可在多种场景下实现位移监测，降低了算法复杂度。

成本依然低

融合方案仅需在原有SMI系统上增加驱动电压信号接入，无需昂贵硬件，保持低成本优势。

应用场景