三环电容角位置传感器

自带绝对零位

创新地在电容传感器中集成绝对零位检测环,使MEMS角位置传感器从只能测角增量突破为具备绝对零位自校准能力。

Jinxuan, Xie · 周侗 · Xiaoshi, Li · 陈宇 · Yang, Tianyu · 苏岩

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2025

参数信息

角分辨率
0.003 °
在线检测精度
0.029 °
零位自校准精度
0.73 °
传感结构外径
21.3 mm
传感结构厚度
1 mm

技术优势

自带绝对零位

内环的绝对零位检测环在 15° 范围内产生易于辨别的电压幅值突变,使传感器无需外部参考即可输出绝对位置。

分辨率高

实测角分辨率达到 0.003°,在线检测精度 0.029°,满足精密伺服和机器人关节等应用对高精度角度反馈的需求。

易集成

传感结构外径 21.3 mm、厚度小于 1 mm,采用非接触式测量,可嵌入微型旋转机构,适合空间受限的场景。

应用场景