微球透镜阵列

面形误差小于354纳米

采用摆动切削法高效加工，面形精度和表面光洁度俱佳，适用于高质量微透镜阵列制造。

周佳 · 周天丰 · Wang, Tianxing · Ruan, Benshuai · 赵文祥 · 王西彬

Journal of Manufacturing Processes 2023

参数信息

面形误差

<354 nm

表面粗糙度

<3.74 nm

技术优势

能加工微小球面

通过刀具摆动切削，突破刀具几何限制，实现微球面加工。

对刀精准

采用CCD对刀和试切，将刀具精确定位于B轴旋转中心。

面形精度高

面形误差低于354 nm，确保透镜轮廓精确。

表面光滑

表面粗糙度低于3.74 nm，满足光学级要求。

应用场景

• 光学组件制造：用于加工高精度微透镜阵列，提升光学组件制造水平。
• 精密测量：提供面形误差和粗糙度数据，用于精密测量验证。
• 成像系统：改善成像均匀性和分辨率，用于高质量成像系统。