行程131×141 μm
结合平行四边形与解耦机构，实现大行程、低交叉耦合和快速响应，适用于超精密车削加工。
Qinghou, Cheng · 章阳坤 · 姚英学 · Yang, Yang
International Journal of Mechanical Sciences 2025
通过平行四边形机构实现放大，工作空间达131 μm × 141 μm，满足大行程微结构加工需求。
解耦机构保证两轴独立驱动，实测交叉耦合低于1%，便于轨迹控制。
低惯量设计使双向谐振频率超过700 Hz，可用作快速刀具伺服实现高频跟踪。
首次提出二维伺服车削工艺，可以高效加工取向可控的分层微通道。