双光梳皮秒超声测厚仪

测量分辨率约2 nm

采用双光梳异步光学采样,一次获取4 ns时间延迟,免机械延迟线即可实现金属薄膜厚度的高精度快速测量。

Yuanhao, Zhu · Yan, Dongyu · Jinyang, Zou · Wu, Ziling · 庞冬青 · 刘博文 · 胡春光 · 宋有建 · Ai Chengjun

Laser and Optoelectronics Progress 2025

参数信息

等效
0.6 m
测量分辨率
~2 nm
Au
-165.33 nm