双光梳皮秒超声测厚仪

测量分辨率约2 nm

采用双光梳异步光学采样，一次获取4 ns时间延迟，免机械延迟线即可实现金属薄膜厚度的高精度快速测量。

Yuanhao, Zhu · Yan, Dongyu · Jinyang, Zou · Wu, Ziling · 庞冬青 · 刘博文 · 胡春光 · 宋有建 · Ai Chengjun

Laser and Optoelectronics Progress 2025

具体参数

等效

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测量分辨率

{'zh': '~2', 'en': '~2'} nm

Au

{'zh': '-165.33', 'en': '-165.33'} nm