工业机器人气囊抛光装置

修整收敛率7.9

将气囊抛光技术与工业机器人结合，实现光学元件的高效率低成本加工。

黄雪鹏 · Wang, Zhengzhong · Lucheng, Li

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 2023

参数信息

修整后跳动收敛率

7.9

修整后跳动值

23 μm

抛光后中部PV

8.65 λ

抛光后中部RMS

1.38 λ

技术优势

省掉专用抛光机

用工业机器人搭载气囊抛光工具即可实现光学元件抛光，无需购置昂贵的专用抛光机床。

修整效果立竿见影

修整后抛光垫跳动值由182 μm降至23 μm，收敛率达到7.9，显著改善工具状态。

应用场景

• 精密光学加工：用低成本的机器人系统替代专用抛光机，完成高精度光学元件的面形修正。
• 光学元件抛光：直接用于光学元件的气囊抛光，修整后收敛率7.9，两次抛光显著改善PV和RMS。
• 机器人加工应用：将工业机器人用于气囊抛光，验证了机器人定位误差对修整和抛光的影响，拓展了机器人加工能力。