百毫米行程亚微米重复定位
该三维气浮运动台在大行程下实现亚微米级定位，采用气浮平衡系统和复合控制策略，垂直方向波动仅±9纳米，能够满足微电子封装、超精密加工和生物医学工程中对多维高精度定位的需求。
Fan, Zhang · 黄强先 · 程荣俊 · 张连生 · 李红莉 · 李瑞君 · 潘巧生
IEEE Sensors Journal 2024
气浮平衡系统抵消重力影响，在100 mm满行程内Z向定位波动仅±9 nm，满足白光干涉扫描和激光定位校准等垂直大范围测量需求。
定位系统重复性优于0.41 μm (k=2)，满足坐标测量机、微光刻和微加工应用中的驱动与控制任务。
通过Z轴复合控制策略，接触式测头重复性优于19.94 nm (k=2)，适用于坐标测量机的高精度测量。
全行程动态测试中，偏航和俯仰角最大波动不超过0.5角秒，确保运动过程中的姿态稳定性。