通过调控毛细液桥作用降低超薄硅片切割厚度偏差,提升切片精度。
Cheng, Dameng · 高玉飞
Solar Energy Materials and Solar Cells 2023
增大锯线张力能提高厚度精度,减小切割硅片的厚度偏差。
冷却液润湿角的增大同样可以提升厚度精度并减小偏差。