带辅助结构的MEMS谐振器

锚损低、Q值升

该器件在系绳中引入辅助结构,无需修改谐振器或系绳设计即可有效抑制锚损,提升品质因数。

Chen, Wen · Jia, Wenhan · Xiao, Yuhao · 吴国强

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

品质因数提升幅度
62 %

技术优势

Q值提升显著

实测品质因数在引入辅助结构后提高约62%,无需对谐振器或系绳做进一步处理。

设计改动小

只需在现有系绳中添加辅助结构,无需修改谐振器本体或其他参数。

应用场景