透明压电超表面

应变0.76%

十单元超表面在宽频范围内产生多种高应变运动模式，实现多自由度系统的微型化与集成。

Qiao, Liao · 高翔宇 · Ren, Kaile · Qiu, Chaorui · Liu, Jinfeng · Jin, Haonan · Shuxiang, Dong · 徐卓 · 李飞

Nature Communications 2024

参数信息

应变
0.76 %
焦距范围
35.82 cm
位移
5.05 μm
倾角
44.02 '

技术优势

结构紧凑，一个器件替代叠层

传统多自由度系统需堆叠多层压电陶瓷，结构笨重复杂；本工作用十单元超表面在同一层内产生线性、旋转及耦合运动。

应变高达0.76%

在宽频范围内产生多种高应变模式，超出常规压电陶瓷的典型应变水平，为精密驱动提供更大行程。

透明，适合光学集成

超表面本身透明，可直接作为光学元件的一部分，避免遮光，有利于自适应光学系统的小型化。

应用场景