氧化率直降六成
通过原位集成多层氧阻挡结构，将相变材料氧化程度从约70%压至约10%，同时提升结晶温度和循环能力，为高可靠性相变存储器制造扫除关键障碍。
Jingwei, Cai · Ke, Gao · Zhao, Ruizhe · Rongjiang, Zhu · 童浩 · 缪向水
ACS Applied Materials & Interfaces 2023
MOB结构将氧化程度从约70%显著降至约10%，大幅减轻器件性能退化。
MOB结构中的材料结晶温度显著提升，有利于扩大工作温度窗口、抑制非晶态过早结晶。
MOB结构通过氧阻挡效应和抑制元素偏析，提高了材料在反复读写中的循环稳定性。