片上甲烷检测
以高折射率金属氧化物Nb2O5为波导芯层，拓展了片上波导气体传感器的材料选择，摆脱了对硅和硫系玻璃的依赖。
Bi, Ran · Pi, Mingquan · 郑传涛 · Zhao, Huan · Liang, Lei · Song, Fang · Dingdi, Wang · 张宇 · 王一丁 · Tittel, Frank K.
Sensors and Actuators, B: Chemical 2023
五氧化二铌在0.35–10 µm波长范围内折射率高且透明，适合用作波导芯层，拓宽了波导材料体系。
2 cm长波导即可实现348 ppm检测限，最佳平均时间61.2 s，满足片上气体传感需求。
采用磁控溅射和剥离工艺制备，与现有半导体工艺兼容，便于集成。