环形电极CMUT

发射振幅提升305%

环形电极与膜槽协同，在低崩溃电压下实现高传输性能，适用于腔内超声与便携成像。

Yuan, Jiawei · Shiwang, Zhang · Zhikang, Li · Li, Jie · Zhao, Yihe · Zixuan, Li · Shaohui, Qin · Ruiyan, Luo · Hong-Qiang, Tan · 李敏 · Lu, Dejiang · 杨平 · 赵立波

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

平均位移
327 %
机电耦合系数
23 %
发射振动振幅
305 %
接收灵敏度
17 %
崩溃电压
19 %

技术优势

发射振幅高

环形电极调节薄膜刚度，提高发射振动振幅。

驱动电压低

边缘沟槽释放应力并将边界转为铰链状，使崩溃电压降低。

结构简单

无需复杂多层膜，仅通过电极和沟槽几何设计即实现性能提升，易于制造。

应用场景