多孔功能梯度纳米梁

压电静电驱动

同时考虑挠曲电效应、表面能和尺寸效应的多孔功能梯度纳米梁，可用于压电静电驱动微纳器件。

Zhao, Xie · 郑世杰 · 陈德金

Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering 2023

技术优势

挠曲电纳入驱动模型

模型同时包含挠曲电效应，提升驱动响应的预测能力。

尺寸效应被考虑

引入应变梯度理论和表面弹性理论来反映小尺度下的刚度和响应变化。

吸合电压和频率可求出

非线性静态吸合电压和固有频率通过GQD和牛顿迭代法获得。

应用场景

• MEMS驱动器：用该模型预测驱动器的吸合不稳定性，优化设计参数。
• 微纳传感器：利用尺寸效应和表面能分析传感器共振频率漂移。
• 微纳制造：通过孔隙率和材料分布指导纳米梁的加工容差设定。