MgO刻蚀SOT-MTJ

零偏移场

通过停止在MgO层的刻蚀工艺,该器件在保留自由层磁性的同时,将偏移场降至近零,并显著改善了TMR、热稳定性和开关电流的均匀性。

Zhao, Lei · 杨美音 · Gao, Jianfeng · Yang, Tengzhi · 崔岩 · 许静 · 李峻峰 · Xiang, Qingyi · Li, Wenjing · Luo, Feilong · Ye, Li · 罗军

IEEE Electron Device Letters 2023

参数信息

偏移场
≈0
开关速度
1 ns
MTJ良率
100 %

技术优势

偏置场几乎为零

由于刻蚀停止在MgO层,去除了硬掩模、SAF和参考层,偏移场接近0,降低了开关电流的不对称性。

开关电流更低

该工艺降低了临界开关电流密度,从而减少写入能耗。

热稳定性更高

热稳定性因子提高,意味着数据保持时间更长。

应用场景