太赫兹软MEMS
单元独立电驱动产生可逆3D机械弯曲,以热效应而非电导率变化实现调谐,避开欧姆损耗,且无需与驱动电路直接物理连接。
张维 · An, Youwen · 申亚京 · 谷建强 · 罗丹
Advanced Materials 2026
10次加热-恢复循环中表现出高重复性和稳定性