等效元件CGH精度

大口径面形可溯

用功能等效的小口径元件替代大口径反射镜,对计算全息图进行直接精度验证。

徐开 · 胡海翔 · 张新 · Wei, Hongda · 张志宇 · 张学军

Light: Advanced Manufacturing 2024

参数信息

CGH验证精度
4 nm RMS
被测面形精度
10 nm RMS
等效元件口径
281 mm
被验证主镜口径
3.5 m

技术优势

直接验证精度

通过功能等效元件将大口径镜替换为可用非CGH技术测量的元件,从而可直接比对CGH测量结果,实现精度量化。

口径缩小百倍

等效元件将口径缩小至1/100或更多,使得用LUPHOScan等非CGH高精度仪器测量成为可能,从而建立参考。

可靠测试保障

该方法为大型非球面镜的CGH测试提供了精度验证手段,确保高精度和可靠的面形检测。

应用场景