多层绝对角位移传感器

分辨率倍增

采用多层结构与再调制方案,在有限空间内集成了粗测与精测,实现绝对定位并提升分辨率。

刘小康 · Chengying, Kang · Yu, Zhicheng · 郑方焱 · Wang, Hewen

Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument 2023

参数信息

原始测量精度
±4.1 ″

技术优势

体积更小

通过多层结构将粗测与精测集成,在Φ100 mm外径内实现绝对定位,无需外部粗测装置。

分辨率翻倍

外环通过再调制作为精测部分,利用轴向空间在不增加径向尺寸的情况下将分辨率提升一倍。

消除串扰

提出分时激励方法,避免内外环同时激励时产生的信号串扰,从而提高测量精度。

应用场景