一种用于半导体制造过程的离散自抗扰控制方案，通过扩展状态观测器有效抑制模型不确定性和外部扰动，尤其适用于工具老化引起的漂移扰动。
王海艳 · 潘天红 · 陈国初
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2023
利用扩展状态观测器将模型不确定性与外部扰动综合为总扰动进行估计并补偿，无需精确模型。
针对工具老化导致的漂移扰动，设计了具有两个扩展状态的模型辅助ESO，能准确估计过程状态和总扰动。
对系统模型阶数和参数的不确定性具有显著容忍度，降低了对精确建模的要求。