密排微孔静压轴承

承载与刚度更高

通过密排微孔结构改变压力分布，在相同供气条件下提升承载能力和刚度。

Yukun, Wu · Li, Changlin · Jie, Li · 杜建军

Tribology International 2024

技术优势

少漏气

密排微孔减小了流向轴承中心高压区的气体流量，使压力降幅变小，从而提高了承载能力和刚度。

供气不变也更强

在总质量流量相同的条件下，该设计通过改变压力分布获得更高的承载能力。

应用场景

• 精密机床主轴：为高速主轴提供更高刚度，减少切削振动。
• 半导体制造装备：满足晶圆加工对平稳无振动的气浮支撑需求。
• 空气静压导轨：提升导轨承载和刚度，保证运动精度。
• 航空航天精密执行器：在有限供气下提供更大承载，适应航天轻量化要求。
• 微纳制造设备：为微纳加工平台提供高刚性气浮支撑，保证加工分辨率。