室温超灵敏氨感测
不同于常规基于沟道电阻调制的MOSFET气体传感器,通过Au源漏垫激活的肖特基势垒调制实现氨气传感,无需加热即可获得极高灵敏度。
Kai, Xiao · Wang, Haihua · Hui, Xie · Siyuan, Li · Zekun, Zhao · Ziyue, Cui · Qiumeng, Chen · 周鹏 · Liu, Fanyu · 徐勇 · 蒋玉龙 · 万景
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2024
通过Au垫激活的肖特基势垒调制,而非传统的沟道电阻调制,对900 ppb氨气实现4,189,000%的泄漏电流灵敏度。
可检测浓度低至120 ppb的氨气,适用于痕量气体检测场景。
无需加热或高温环境,在室温下即可实现高灵敏度,降低功耗和系统复杂度。