碳化硅微透镜阵列

光匀化均匀度90%

在碳化硅表面飞秒激光辅助ICP刻蚀制备的大面积微透镜阵列，集成了光匀化和分光功能，适用于特殊光学系统的小型化与集成化。

Zheng, Jiaxin · Ming-Rui, Guo · Mei-Ling, Luan · 王宝旭 · Hua, Fan · 李爱武 · 刘学青

IEEE Photonics Technology Letters 2023

具体参数

光匀化均匀度高

{'zh': '90', 'en': '532'} %

技术优势

分光比可由1.2动态调节至3.2