GaAs原子级激光加工

机制清晰可控

脉冲激光诱导的相爆炸与损伤阈值附近的非晶化机制,为GaAs表面原子级去除与改性提供理论指导。

Wang, Jinshi

Optics and Laser Technology 2024

技术优势

高能量密度下相爆炸为主导机制

损伤阈值附近非晶化为主导机制