轴向多焦点隐形切割装置

单次扫描切石英玻璃

用分数傅里叶变换灵活调控轴向多焦点，在石英玻璃内部实现无崩边、无微裂纹的高效切割。

Jiang, Mingming · 孙树峰 · 王进 · 张丰云 · Xi, Wang · 邵晶 · Wang, Pingping

Ceramics International 2023

参数信息

切割断面最低粗糙度

2.21 μm

技术优势

单次扫描即可切割

轴向多焦点同时作用，一次扫描完成 200 μm 石英玻璃的切割，无需多次重复。

边缘无崩边和微裂纹

聚焦于玻璃内部，材料沿内部改质层分离，切割边缘保持完整。

焦点位置和能量可灵活调节

改变分数傅里叶变换阶数并结合 3D-GSW 算法，可实现轴向多焦点的空间分布和能量分配动态调整。

应用场景

• 超快激光加工：将超快激光用于玻璃内部改质切割，替代传统机械或热加工。
• 光学材料加工：在无热损伤和机械应力下加工光学元件，保持材料光学性能。
• 精密玻璃切割：实现微米级高质量切割，边缘无崩边、微裂纹。
• 石英玻璃微加工：对石英玻璃进行隐形切割，无需后续研磨或抛光。