系统级仿真误差<0.63%
基于二极管热电耦合的微皮拉尼真空传感器，其宏模型系统级仿真与实验高度吻合，显著提升MEMS真空传感器设计效率。
Zhou, Zaifa
IEEE Sensors Journal 2024
系统级仿真稳态结果与实验最大误差小于0.63%