高分辨率大动态范围
基于原子力显微镜测量原理，通过不同刚度微悬臂梁阵列结构同时实现高分辨率与大动态范围的加速度检测。
Miao, Bin · Hongji, Guo · Dingyi, Wang · Wen, Xiong · Feng, Changkun · Zhan, Xu · Siyuan, Fang · Hanwenyu, Zhan · 玉鹏 · 李加东
IEEE Sensors Journal 2025
不同刚度系数的微悬臂梁阵列分工覆盖不同加速度区间，避免单梁结构在灵敏度和量程间的矛盾。
偏置不稳定性仅10 ng，适合长期惯性测量中对零漂的严格要求。
背景噪声700 ng/√Hz，能分辨微弱加速度信号，可探测亚微重力加速度。