层流洁净单元

拦截激光溅射颗粒

用定向层流控制高功率激光系统中激光诱导溅射颗粒的输运,保持光学表面洁净。

Peng, Ge · 高强 · Dong, Zhe · Liang, Lingxi · 陈家轩 · 朱成禹 · 张鹏 · 卢礼华

Micromachines 2023

参数信息

层流速度
0.5 m/s
颗粒最大衰减距离变化范围
2 orders of magnitude

技术优势

能耗最少

层流速度无需一味提高,0.5 m/s 即可有效抑制颗粒沉降,避免多余气流消耗。

尺度不敏感

最优速度取决于颗粒最大衰减距离,该距离可跨两个数量级,同一策略适用于不同尺寸的光学系统。

方向可调

通过调整层流方向可引导颗粒远离敏感表面,实现对溅射颗粒输运路径的主动控制。

应用场景