单端压电微操纵器

三轴大行程

采用环形多区压电陶瓷驱动的单端三自由度微操纵器，实现正交三轴运动，适用于微型物体的姿态操作。

Zhang, Shijing · Jingze, Zeng · 全齐全 · 李璟 · Guan, Jinghan · 刘英想

International Journal of Smart and Nano Materials 2025

参数信息

最大操纵位移

88.42 μm

最佳位移分辨率

31.19 nm

最大操作力

4.85 mN

最佳力分辨率

18.97 μN

技术优势

单端结构实现三自由度

利用环形多区压电陶瓷的不同激励区域，在同一端产生X、Y、Z三轴正交运动，无需多个驱动器或复杂机构。

位移分辨率达31.19 nm

最佳位移分辨率为31.19 nm，支持纳米级精密操作。

最大操作力4.85 mN

最大操作力达4.85 mN，足以操控多种微型物体。

应用场景

• 机器人辅助微操作：作为末端执行器，实现微型目标的精确抓取与姿态调整。
• 微加工：提供高分辨率的三轴运动，用于微细加工中的定位与进给。
• 微装配：以纳米级位移分辨率操作微小零件，提升装配精度。