抑制二次放电，工具损耗降21.7%
通过ALD在工具侧壁沉积致密纳米氧化铝绝缘膜，抑制放电钻削小深孔时的异常放电，提升加工稳定性并降低对工具和孔形的损伤。
Shuyu, Gui · 宫虎 · Sun, Yijia · Chong, Feng
Surface Engineering 2023
侧壁绝缘膜抑制了二次放电，从而减少了因异常放电引起的工具材料去除，使损耗显著下降。
工具侧壁不再产生二次放电，避免了对已加工孔壁的二次蚀除，孔的表面形貌和形状精度得到改善。
二次放电被抑制后，放电状态更集中和可控，减少了异常放电引起的波动，使加工稳定性提升。