宽范围 抗干扰 耐油高温
在微小尺寸内通过平面结构和屏蔽层实现从低压到超高压的宽量程检测，同时耐受电磁干扰、油污和高温，适用于工业装备中的狭小空间压力测量。
Shimin, Liu · Bo, Yuan · 杨磊 · Chen, Sicheng · 郭艳婕
Smart Materials and Structures 2024
平面结构设计让传感器核心区域直径小于1 mm，却能检测超过1 MPa的压力。
在绝缘基底下方设置金属屏蔽层，可有效隔离外界电磁干扰。
传感器在高温和油污环境下仍保持性能，适合工业现场。