双压电尺蠖电机

步进16.3 μm

仅用两个压电执行器实现高精度步进，无需复杂驱动序列，系统简单且运动稳定。

Huang, Nan · 张揽宇 · Luo, Yuheng · 高健

Micromachines 2025

参数信息

最大步进位移

16.3 μm

最大速度

9.78 mm/s

工作频率

600 Hz

驱动电压

135 V

技术优势

执行器大幅减少

仅需两个压电执行器即可实现精密运动，从根本上简化系统装配和时序控制。

回退被抑制

上下钳位与驱动机构交替动作，从机理上抑制回退效应，提高步进位移精度。

性能可行

仿真和实验验证了电机在位移、速度和负载下的运动分辨率和稳定性。

应用场景

• 精密定位系统：提供长行程和高分辨率，减少执行器数量和装配复杂度。
• 晶圆检测：高精度和稳定性满足晶圆级电子束检测的定位需求。
• 精密运动平台：步进位移和速度适合集成到精密运动平台。
• 微型驱动器：仅两个执行器实现精密运动，简化系统。
• 微纳制造装备：提供微纳制造装备所需的精确位移。