面形更可靠评估
采用拼接-嵌入表征方法,将子孔径拼接与表征过程结合,简化分析流程的同时提升面形误差评估可靠性。
Peng, Ji · Wang, Bo · Jin, Yuan · Haitao, Zhang · 乔政 · 李铎
Precision Engineering 2023
拼接与表征同步进行,避免两次处理之间的不一致,从而获得更可信的面形误差。
不需要在拼接完成后再执行单独的表征程序,减少了数据处理环节。