钛掺杂非晶碳膜

低摩擦抗剥离

通过钛掺杂调控界面剪切与转移膜形成，在不牺牲硬度与结合力的前提下显著降低摩擦系数，优于未掺杂非晶碳膜。

Shi, Zhijun

Tribology International 2026

技术优势

钛靶电流0.8A时钛以单质形式存在

钛靶电流1.6A时钛与碳形成TiC

钛内部低滑动势垒导致断裂并形成转移膜，降低摩擦系数

钛掺杂可缓解残余应力