相移正交解调算法

低要求高精度

利用相移正交相位解调简化位移测量中的相位解调处理，降低光学元件调整精度要求。

黄真 · Hu, Xiaohui · Qinghua, Li · Xiao, Jin · Bing, Xu · Deng, Wang · Xuping, Liu · Tingting, Zhang · 张正贺 · Guodong, Chen · 李成伟 · 李栋宇

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2023

参数信息

测量误差

<38 nm

技术优势

调整要求低

波片和沃拉斯顿棱镜的角度决定相位差，无需精确调整光路。

弱反馈也适用

即使在极弱光反馈下也能进行相位解调，扩展了测量范围。

误差小于38 nm

在10.00 μm位移测量中误差小于38 nm，满足高精度需求。

应用场景

• 精密位移测量：在微纳制造中实现高精度位移监测，误差<38 nm。
• 激光自混合干涉：简化自混合干涉仪中的相位解调，无需严格光路调整。
• 光学传感器：构建低要求光学传感器，在弱反馈下仍能工作。
• 在线测量：算法简单高效，适合集成到在线测量系统。