灵敏度提升
采用低热导率空心玻璃封装，在保持低功耗的同时显著提升风速测量灵敏度。
Hao, Xu · Jiuzhou, Wang · Zhou, Zaifa · Yi, Zhenxiang · Qin, Ming · Huang, Qing'an
Journal of Microelectromechanical Systems 2023