氪等离子体光谱线比诊断法

高电离态同步定参

针对高电离度氪等离子体，首次基于激发截面断崖规律与基态-亚稳态竞争机制，实现电子温度、电子密度与基态原子密度的同步光学诊断。

Lu, Wang · 朱悉铭 · Wang, Yanfei · Kang, Yongqi · 赵阳 · Zheng, Bowen · 宁中喜 · 于达仁

Spectrochimica Acta - Part B: Atomic Spectroscopy 2026

参数信息

耦合度准则

<30 %

技术优势

高电离度可诊断

该方法基于激发截面断崖规律和基态/亚稳态竞争机制，弥补了传统方法只适用于低电离度等离子体的不足。

三参数同步测定

利用不同的线比分别关联电子温度、电子密度和基态原子密度，无需多套设备或分步测量，即可实现三参数的同时获取。

最优线比自动筛

定义耦合度参数并采用小于30%的准则筛选线比，确保所选线比方案中各参数之间的耦合影响最小，提高测量可靠性。

应用场景

• 等离子体诊断：为高电离度氪等离子体提供参数诊断手段。
• 电推进：用于霍尔推力器放电通道内等离子体参数的在线监测。
• 等离子体刻蚀：适用于高深宽比重离子刻蚀工艺中的等离子体状态监控。