C型方膜微压传感器

高灵敏度低非线性

通过埋氧层自停止刻蚀保证敏感薄膜均匀性，兼顾灵敏度与线性度，尺寸仅460 μm × 460 μm。

Ye, Ma · 雷程 · 梁庭 · 贾平岗 · 李志强 · Wentao, Wang · 熊继军 · Bingyan, Wang · Guofeng, Chen

Physica Scripta 2023

具体参数

室温下

{'zh': '40', 'en': ''} kPa

非线性误差仅

{'zh': '0.386', 'en': ''} %

敏感薄膜尺寸

{'zh': '460', 'en': '460'} μm