四自由度压电微操作器

位移自感知

通过电荷积分法实现无外置传感器的位移自感知，简化系统并降低成本。

Li, Yu · 崔玉国 · 杨依领 · Zhi-Wen, Xiong · 马剑强 · 李国平 · 娄军强

Precision Engineering 2024

参数信息

最大位移（夹持方向）

66.29 μm

最大位移（垂直方向）

63.09 μm

技术优势

省掉位移传感器

利用压电晶片变形产生的电荷积分来感知位移，无需激光传感器等外置设备，简化系统结构。

自感知与激光测一致

实验表明，基于自感知方法得到的输出位移、响应时间和固有频率与激光传感器测量结果高度吻合。

应用场景

• 微操作与装配：用于微轴装配，完成抓取与对接操作。
• 精密运动控制：提供微米级位移输出，实现高精度定位。
• 精密仪器：充当精密仪器中的微操作执行部件，无需额外传感。
• MEMS执行器：利用压电效应实现微观尺度执行动作。