对称三层MOEMS加速度计

三倍质量，对称不减

通过对称三层结构在不增大芯片面积的前提下提高了验证质量，实现了低噪声与低交叉轴耦合。

李鹏飞

Micromachines 2026

参数信息

机械灵敏度

193.91 µm/

波动

1.81 µg

一阶谐振频率

11.23 Hz

技术优势

封装级品质因数约 374（环境压力下）