TiN缓冲层

一种用于SrTiO3与半导体集成的导电缓冲层，可缓解晶格失配并调节界面力学性能。

Wenqi, Fu · Jia, Han · Mandi, Sha · 尹德强

Applied Surface Science 2025

技术优势

TiN||SrTiO3界面导电

SrTiO3带隙随厚度增加而变宽

SrTiO终端的剪切强度和界面韧性优于O2终端