位移损伤容限超硅10倍
栅介质陷阱主导失效,使碳纳米管晶体管在高能离子辐照下比硅器件坚韧一个量级,且优势可延续至45 nm节点。
逯鹏 · Zhu, Maguang · Zhao, Peixiong · Fan, Chenwei · 朱卉平 · Gao, Jiantou · 阳灿 · Han, Zhengsheng · 李博 · Liu, Jie · 张志勇
ACS Applied Materials & Interfaces 2023
在10¹² ions/cm²的Xe离子辐照下器件性能完好,直到5×10¹² ions/cm²才出现失效,而硅器件通常在更低剂量下就已损坏。
即使器件尺寸缩小到45 nm,碳纳米管晶体管仍保持2.8×10¹³ MeV/g的高位移损伤容限,表明其适用于高集成度的宇航芯片。