串联惠斯通电桥低压传感器

低压高灵敏

通过双电桥串联叠加输出电势，在不增加工艺复杂度的情况下提高低压测量灵敏度。

Yuanying, Zhang · Jian, Luo · 马炳和 · 邓进军 · Wei, Cui · Xiubing, Liang · Xiaoliang, Luo · Xiaojing, Wang

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

灵敏度

23.07 mV/kPa

测量精度

0.19 %F.S.

技术优势

灵敏度提升28.2%

两个惠斯通电桥串联叠加输出电势，实现对不同位置和方向膜应力的检测，灵敏度比传统低压传感器高28.2%。

结构简单，适合批量生产

传感器膜结构和压阻位置经有限元分析计算，结构简单，易于大批量生产。

应用场景

• 微压测量：提供微小压力精确测量，替代精度不足的传统传感器。
• MEMS压力传感器：与标准MEMS工艺兼容，便于集成到小型化系统中。
• 可穿戴医疗设备：高灵敏检测微弱生理压力信号，用于穿戴式健康监测。
• 工业压力监测：结构简单适合批量生产，用于工业现场低压监测。