三级放大压电微夹持器

位移可调

通过三级放大与位移调节,适配不同尺寸微部件的夹持,并补偿柔性机构误差。

徐冬梅

Smart Materials and Structures 2023

参数信息

电压下微夹持器单臂输出位移
223.8 μm
放大倍数
24.2 倍