自稳定纳米定位装置

1–500 Hz 隔振率超 90%

集成被动悬架与压电/音圈电机混合隔振，在宽频带内同时抑制振动放大并降低电机发热。

Zhu, Zhongyuan · 汤晖 · Yunwei, Huang · 林志杭 · 田延岭 · 玉鹏 · Su, Chanmin

IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2023

参数信息

steady-state positioning accuracy

0.1 μm

负载能力

2.5 kg

扰动衰减比

70 %

技术优势

低频不再放大

通过压电陶瓷与音圈电机补偿，被动隔振的振动放大效应被显著抑制，从而实现宽频带稳定。

电机发热更低

改进的混合策略有效降低了音圈电机的发热，延长了连续工作时间并提高系统可靠性。

应用场景

• 原子力显微镜：为AFM扫描头提供稳定平台，消除振动引起的图像伪影。
• Micro-LED 检测：在Micro-LED面板检测中隔离环境振动，确保缺陷识别的精度。
• 精密运动控制：作为精密运动控制的隔振底座，防止外部扰动影响定位稳定性。
• 光学平台隔振：替代传统光学平台隔振，提供更宽的隔振频带和主动抑制能力。