多级曝光立体光刻

精度与界面兼得

通过多步曝光将整体曝光控制在与单材料工艺相当的水平以保精度,再对界面单独补曝光强化结合,同时提高尺寸精度和界面结合强度。

Deng, Xinghong · 张广玉 · Mo, Yi · Huang, Zhiyuan · 周德开 · 乔菁 · 李隆球

International Journal of Smart and Nano Materials 2024

技术优势

精度和强度可兼得

先把整层曝光控制在单材料工艺水平保证几何,再只对需要强化的界面补曝光,不再靠全局过固化。

微流道精度有实测

用微流道对比了单步和多步曝光,多步曝光下通道尺寸更接近设计值。

打印顺序不受限

方法已整合进现有高效的材料打印次序中,不改变原有流程就能用。

应用场景