图像引导纳米定位平台

50 nm 轨迹跟踪

以服务器视觉方案替代多自由度位姿传感，将闭环跟踪转化为图像区域误差最小化，克服纳米定位平台高精度位姿反馈难题。

李海 · Nuo, Xu · 张宪民 · 朱本亮

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2023

参数信息

控制延迟

<1 ms

技术优势

免专用位姿传感器

用图像反馈代替传统多自由度位姿传感器，从而简化系统集成并降低硬件成本。

亚毫秒级控制延迟

所设计的图像引导跟踪控制器延迟低于 1 毫秒，适合高速闭环应用。

应用场景

• 纳米制造：利用亚 50 nm 跟踪精度执行纳米级制造操作。
• 精密仪器：为精密仪器提供无专用位姿传感器的高精度运动控制。
• 显微操作：以图像引导实现显微尺度操作，无需额外位姿传感。
• 光学对准：用视觉伺服实现光学元件的纳米级对准。