电解质约束射流装置

蚀刻因子提升2.5倍

用高密度液体约束电解液流动区域，消除杂散腐蚀，实现微结构的高定域性加工。

Ye, Zhisen · 陈晓磊 · Yiming, Lin · Liang, CHENG · Muhammad Hazak, Arshad · Kumar Saxena, Krishna · 张永俊

Physics of Fluids 2024

参数信息

蚀刻因子

2.5

蚀刻因子

8.8

技术优势

消除杂散腐蚀

高密度液体FTPA将电解液流动限制在所需加工区域，避免工件非目标区域被腐蚀。

提高定域性

约束电解液流动区域使电流密度分布集中，从而增强加工定域性。

保护侧壁

随着进给深度增加，FTPA流入微凹坑内保护侧壁免受持续溶解，形成垂直侧壁。

应用场景

• 微结构加工：在金属表面高效加工微凹坑、微沟槽等功能微结构。
• 精密加工：提高加工定域性，精确控制微结构尺寸和形状。
• 表面工程：避免杂散腐蚀，获得高质量加工表面。