硅多层晶格表面

红外反射提升10%

用离子束与抛光构建密度分层晶格,在原子尺度同步提升硅反射镜的红外反射并抑制光热吸收。

周刚 · 石峰 · Shuo, Qiao · 田野 · Chen, Jian · 宋辞 · 铁贵鹏 · Shen, Yongxiang

Optics and Laser Technology 2023

参数信息

红外反射率提升
10 %
光热吸收
0.116 ppm

技术优势

反射率提升10%

通过化学机械抛光去除无序层,使新表面在900–1500 nm测试波段的反射率提升10%。

光热吸收仅0.116 ppm

表面光热吸收被控制在0.116 ppm,有效减少热效应引起的波前畸变。

原子尺度可调控

通过离子束和抛光调节不同密度硅原子层厚度,实现近原子尺度的制造精度。

应用场景