环氧交联分子玻璃光刻胶

18 nm半节距

采用慢光解引发剂与快光解终止剂的组合策略，同时消除随机效应，实现高机械强度光刻结构。

Gao, Jiaxing · Siliang, Zhang · Xuewen, Cui · Xue, Cong · 郭旭东 · 胡睿 · 王双青 · 陈金平 · 李嫕 · Peng, Tian · Vockenhuber, Michaela · Kazazis, Dimitrios · Ekinci, Yasin · 杨国强

Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry 2024

参数信息

分辨率
18 nm
曝光剂量
25.2 mJ·cm−2
线边缘粗糙度
2.8 nm

技术优势

消除随机效应

通过快光解终止剂在曝光区域快速清除酸，减少随机波动，使得图案缺陷减少，结构更均匀。

增强机械强度

环氧阳离子聚合形成的致密交联结构使图案在显影液中不溶解，从而获得高机械强度，避免图案倒塌。

应用场景